Adapun rukun-rukun itikaf sebagai berikut.
Niat
Sama dengan ibadah lain, menurut mayoritas ulama, niat adalah salah satu rukun terpenting itikaf. Rasulullah bersabda, “Sungguh setiap pekerjaan itu bergantung dengan niat dan setiap orang akan mendapatkan sesuai dengan apa yang dia niatkan” (HR. Muslim)
Berdiam diri di masjid yang merupakan inti itikaf
Selama berdiam diri di masjid, hendaknya orang-orang yang beritikaf atau disebut mu’takifin memaksimalkan rangkaian ibadah, yakni sholat wajib, sholat sunnah, berzikir, dan membaca Alquran. Mu’takifin juga boleh mengkhatamkan Alquran selama itikaf.